派克parker直線電機(jī)，速度高達(dá) 10 m/s，平均值3 m/s，精度可達(dá)到 微米（亞微米級(jí)），比一般機(jī)械系統(tǒng)加速能力強(qiáng)，零背隙 – 直接驅(qū)動(dòng)，有效行程20mm~60m
