派克parker直線電機(jī),速度高達(dá) 10 m/s,平均值3 m/s,精度可達(dá)到 微米(亞微米級(jí)),比一般機(jī)械系統(tǒng)加速能力強(qiáng),零背隙 – 直接驅(qū)動(dòng),有效行程20mm~60m